原子間力顕微鏡装置(AFM)

Ｈ24年、新しい原子間力顕微鏡ＡＦＭが導入されました。ＡＦＭのNX10は、 イメージング精度、走査速度、チップ寿命を改善した完全非接触AFMとして、 最高水準のZサーボ速度、XYZスキャナの直線性、クローズドループ検出器ノイズ、 および最小限の熱ドリフトといった特長を備えています。

品名	プローブステーション
型式	NanoNavi II / II e
概要	探針検定を含む微小領域の表面粗さ評価方法がJISで規格化されました。この規格に準拠した、高精度で客観的な粗さ評価が実現する機能を搭載しています。また、操作手順をフローチャート形式でナビゲートし、どなたでも簡単に高分解能な表面観察を行うことができます。
特徴	長 1. 表面粗さJIS規格（JIS R1683:2007）準拠の測定・評価機能を標準搭載 従来問題となっていた、針先の形状・磨耗に起因する測定データのバラツキに対し、探針検定を含む微小領域の表面粗さ評価方法がJISで規格化されました。この規格に準拠した機能を標準搭載しています。この機能を用いることにより、バラツキの問題が低減され、より高精度で客観的な粗さ評価が実現します。2. フローチャート形式ナビゲートシステム標準搭載 操作手順は、PC画面に表示されるフローチャート形式のナビゲートシステムにより案内されます。さらに試料の硬さや凹凸の大きさといった質問に感覚的に答えることで、測定パラメータを簡単に設定することができます。これにより、どなたでもスムーズに高分解能な表面観察を行うことができます。

品名	環境制御型ユニット
型式	E-sweep
概要	大気中、真空中、溶液中など、様々な測定環境に対応した環境制御型プローブ顕微鏡（SPM）です。従来の様々な温度環境における物質表面の形状や物性の観察に加え、連続的に温度が変化する過程における表面物性の変化を定量的に評価する表面転移温度モニター機能を搭載しています。
特徴	1. 大気・高真空・液中など様々な環境下に対応できます。また、光学系を大気下に配置し、環境変化に伴うカンチレバーの反りを常時調整可能としています。 2. スウィングキャンセル機構の採用により、試料部のゆらぎを徹底して減少させ、ドリフト量0.015nm/secレベルを達成しています。また、スムーズアプローチ機構により、アプローチ時の振動を極限まで低減し、接触時のプローブ先端のダメージを軽減しています。 3. ホルダーフランジ開閉機構の採用により、試料交換時のカンチレバーへの光学調整を不要としています。また、各機能ホルダーを共有化することで、環境を変えることなく、機能切替を可能としています。 4. 試料とシステムの熱膨張を常時監視し、エリアイン（測定可能領域）フィードバックすることで、プローブ先端を試料面に接触させたままでの物性計測を可能としています。

品名	多機能型ユニット
型式	S-image　SPA-400
概要	大気中、液中で簡便に高分解能観察を行うことができる小型汎用多機能型ユニットです。更に低コヒーレント光学系の採用、熱源の抑制化により更なる高分解能化、低ドリフト化、光干渉の低減化を実現した高分解能多機能型ユニットです。 多機能型ユニットSPA-400は、原子間力顕微鏡（AFM）・磁気力顕微鏡（MFM）を標準装備しています。オプションとして表表面電位（KFM）･マイクロ粘弾性（VE-AFM）･走査型トンネル顕微鏡（STM）などの多機能測定をカンチレバーホルダーの交換により簡単におこなうことができます。
特徴	1.低コヒーレント型新光ヘッドによるS/N比向上と光ノイズの低減化を実現しています。 2.熱源抑制効果による圧倒した低ドリフト化を実現しています（0.01ｎｍ/sec以下）。 3.ヒステリシス、クリープの影響の少ないクローズドループスキャナに対応しています。（オプション） 4.剛性を大幅に強化したため振動や音に強く、安定した高分解能測定が可能です。 5.光学顕微鏡（オプション）が一体化しサンプルの位置合わせもより簡単になりました。 6.光軸調整のためのポジションモニタ、ワンタッチカンチレバーホルダの採用により、初めての方でも容易に測定できるようになりました。 7.各種測定モード 原子間力顕微鏡（AFM） DFMモード フェーズモード コンタクトモード 横振動摩擦力顕微鏡（LM-FFM） 電気化学原子間力顕微鏡（EC-AFM） 磁気力顕微鏡（MFM） マイクロ粘弾性（VE-AFM） 摩擦力顕微鏡（FFM） マクスウェル応力顕微鏡（SMM） トンネル顕微鏡（STM） ケルビンプローブフォース顕微鏡（KFM）