試料作製装置

  • カーボンコーター

    カーボンコーター

  • 白金コーター

    白金コーター

  • オスミウムコーター 1

    オスミウムコーター 1

  • オスミウムコーター 2

    オスミウムコーター 2

  • ソフトプラズマエッチング装置

    ソフトプラズマエッチング装置

装置概要

[カーボンコーター]
本装置は、主に走査電子顕微鏡・電子プローブマイクロアナライザなどでの元素分析用カーボンコーティングを行う試料作製装置です。
非導伝性試料等へのカーボンコーティングを、短時間に能率良く行うために使用されます。
[白金コーター]
走査電子顕微鏡の試料作製装置として、生物などの非導電性試料への各種金属コーティングを短時間に効率的に行えるイオンスパッター装置です。
[オスミウムコーター 1, 2]
本装置は、サンプル表面に0.25nm～の極めて薄いアモルファスオスミウム層を形成することで絶縁体のSEM観察を可能にします。
プラズマCVD方式を採用しているので、金属スパッタコーティングやカーボンコーティングに比べて回り込みよく均一な薄膜が形成できます。
金属スパッタのような粒状性もないので、高倍率での表面微細構造観察に最適です。
また、サンプル表面のオスミウム膜は極めて薄いのでEDS分析に影響を与えず、炭素や窒素などの軽元素まで定量可能になります。
[ソフトプラズマエッチング装置]
プラズマ照射により試料表面の親水化やクリーニングを行う装置です。低電流で安定したグロー放電により比較的ダメージの少ない処理が可能です。
フィルム状のサンプルやSTEM観察前の極表面のコンタミ除去にも使用できます。
PDMS同士やPDMSとガラスの接合、基板の洗浄や親水化処理、酸化シリコンの酸化膜除去に使われ、UVオゾンクリーニングよりも短時間で再現性に優れます。

装置仕様

1.　装 置
2.　仕 様

[カーボンコーター]

[白金コーター]

[オスミウムコーター 1]

[オスミウムコーター 2]

[ソフトプラズマエッチング装置]

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