可視分光エリプソメータ(ELLIP)
本装置は、基板上に成膜した単層膜や多層膜の膜厚測定を目的とした分光エリプソメータで、液晶素子を使用することにより稼動部レスで安定した測定が特徴となります。
測定試料上に光源（ハロゲンランプおよび青色LED）からのビーム照射を行い、各波長（450nm～1000nm）における反射光の偏光状態を計測し、サンプルのミューラマトリクスを求め、その情報から位相差（Δ）、反射振幅比角（Ψ）を計算いたします。
ΔおよびΨは光の波長・膜厚・物質の光学定数（屈折率、消衰係数）により異なった値を示します。
この演算結果と予想される膜構造/組成の理論モデルを対比させつつ自動収束解析を行い、測定対象膜の膜厚・組成の算出を行います。。
