卓上走査電子顕微鏡(卓上SEM)

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装置概要

本装置はマクロからミクロの世界を瞬時に画像提供する卓上走査電子顕微鏡です。試料挿入時に撮影された光学像で視野探しを行い拡大していくと自動でSEM像へ切り替わります(Zeromag)。鮮明な表面形態観察のための高真空モードに加え、帯電し易い試料をコーティングする必要なく観察できる２段階の低真空モードが装備され、試料準備が容易です。二次電子像や反射電子像のほか、４分割反射電子検出器による3D画像をライブ表示できます。装着されたEDSにより観察中にスペクトル分析やマップ分析が元素がリアルタイムで確認できます。得られたデータは管理ソフトにより一元化され、再解析やレポート作成が短時間で行えます。

装置仕様

1.　装 置

• 卓上走査電子顕微鏡（卓上SEM）
  日本電子株式会社　JCM-7000 NeoScope
• エネルギー分散形Ｘ線分析装置（EDS)
  日本電子株式会社

2.　仕 様

[卓上SEM]

• 写真倍率
  ×10～×100,000（128 mm × 96 mm 表示サイズ）
• 検出器
  シンチレーター、ライトガイド、光電子倍増管で構成されたET検出器（二次電子），高感度4分割半導体検出器（反射電子）
• 画像モード
  高真空モード（二次電子像、反射電子像）
  低真空モード（反射電子像）
  帯電軽減モード（反射電子像）
• 加速電圧
  5 kV, 10 kV, 15 kV（3段）
• 電子銃
  タングステンフィラメント・ウェーネルト一体型
• 試料ステージ
  2軸(X,Y)モーター駆動方式
  X方向 40 mm, Y方向 40 mm
  
• 最大試料サイズ
  80 mm 経 × 50 mm 高
• 傾斜回転モーター駆動ホルダー
  傾斜角度 －5° ～ ＋50°、最大試料サイズ 25 mm 経 × 6 mm 高
• 自動機能
  アラインメント、フォーカス、スティグマ、コントラスト・ブライトネス
• 観察支援機能
  クリックセンター、ドラッグ移動、フレーム移動、動画保存、スキャンローテーション、ヒストグラム、モンタージュ、すぐエコ(フィラメント寿命延長モード)、Zeromag
• 画像
  画素数 640×480, 1280×960, 2560×1920, 5120×3840
• 排気系
  到達圧力（電子銃室）50 mPa以下
  ロータリーポンプ 30 l/min, ターボ分子ポンプ 67 l/sec
• 起動時間
  3分以内（大気圧からHT-Readyまで）

[EDS]

• X線検出器
  シリコンドリフト型検出器、窒化シリコン薄膜ウインドウ
• 検出素子面積
  30 mm²
• 検出可能元素
  Be ～ U
• 冷却方式
  ペルチェ冷却素子
• 分析機能
  スペクトル分析、ライン分析、マップ分析
• 測定領域
  全面、点、線、エリア、粒子、任意