デジタルマイクロスコープVHX-X1
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この装置でできること・ 光学観察：深度合成機能、画像連結機能、ズームレンズ、フリーアングル観察、簡単録画、計測機能 ・ 簡易SEM観察：前処理不要、傾斜観察 装置の情報
デジタルマイクロスコープVHX-X1
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仕様
1. デジタルマイクロスコープ （本体）（VHX-X1）
| カメラ | 撮像素子 | 1/1.8型 315万画素CMOSイメージセンサ |
| 総画素 2064(H) × 1554(V) | ||
| 実効画素 2048(H) × 1536(V) | ||
| 走査方式 | プログレッシブ | |
| フレームレート | 50 fps (max) | |
| 解像度 | 標準：2048(H) × 1536(V) 高精細：6144(H) × 4608(V) |
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| ハイダイナミックレンジ | RGB各画素16bit階調 | |
| ゲイン | マニュアル、プリセット | |
| 電子シャッター | オート、マニュアル、1/60, 1/120, 1/250, 1/500, 1/1000, 1/2000, 1/5000, 1/9000, 1/19000 | |
| スーパーチャージシャッター | 0.02~16 sまで0.01 s刻みで設定可 | |
| ホワイトバランス | プッシュセット、マニュアル、プリセット（2700K, 3200K, 5600K, 9000K） |
2. ハイレゾリューションヘッド（VHX-7100）
| ハイレゾリューションヘッド | 撮像素子 | 1/1.7型 1222万画素CMOSイメージセンサ |
| 総画素 4168(H) × 3062(V) | ||
| 実効画素 4024(H) × 3036(V) | ||
| 走査方式 | プログレッシブ | |
| フレームレート | 30 fps (max) | |
| 解像度 | 高速：2048(H) × 1536(V) 高解像度（4KモードOFF）：2880(H) × 2160(V) 高解像度（4KモードON）：4000(H) × 3000(V) 高精細：12000(H) × 9000(V)※1 |
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| ハイダイナミックレンジ | RGB各画素16bit階調 | |
| ゲイン | マニュアル、プリセット | |
| 電子シャッター | オート、マニュアル、1/30, 1/60, 1/120, 1/250, 1/500, 1/1000, 1/2000, 1/5000, 1/9000, 1/19000 | |
| スーパーチャージシャッター | 0.03~4 sまで0.01 s刻みで設定可 | |
| ホワイトバランス | プッシュセット、マニュアル、プリセット（2700K, 3200K, 5600K, 9000K） | |
| バックフォーカス調整 | 不要 | |
| 内蔵光源 | 種類：高輝度LED | |
| 寿命：40000時間（参考値） |
| 項目 | 仕様 | ||||||
| 倍率 | 5 | 7 | 10 | 15 | 20 | ||
| 撮影範囲（mm） | H（横） | 61.00 | 42.80 | 30.50 | 20.00 | 15.24 | |
| V（縦） | 45.50 | 32.10 | 22.80 | 15.00 | 11.40 | ||
| D（対角） | 76.20 | 53.50 | 38.10 | 25.00 | 19.05 | ||
| 観察距離（mm） | 56.55 | ||||||
| 項目 | 仕様 | ||||||
| 倍率 | 20 | 30 | 40 | 50 | 80 | 100 | |
| 撮影範囲（mm） | H（横） | 15.24 | 10.16 | 7.62 | 6.10 | 3.81 | 3.05 |
| V（縦） | 11.40 | 7.60 | 5.70 | 4.56 | 2.85 | 2.28 | |
| D（対角） | 19.05 | 12.70 | 9.53 | 7.62 | 4.76 | 3.81 | |
| 観察距離（mm） | 30（22.9※2）※2 OP-88323装着時 | ||||||
| 項目 | 仕様 | ||||||
| 倍率 | 100 | 150 | 200 | 300 | 400 | 500 | |
| 撮影範囲（mm） | H（横） | 3.05 | 2.03 | 1.52 | 1.02 | 0.76 | 0.61 |
| V（縦） | 2.28 | 1.52 | 1.14 | 0.76 | 0.57 | 0.46 | |
| D（対角） | 3.81 | 2.54 | 1.91 | 1.27 | 0.95 | 0.76 | |
| 観察距離（mm） | 24 | ||||||
| 項目 | 仕様 | ||||||
| 倍率 | 500 | 700 | 1000 | 1500 | 2000 | 2500 | |
| 撮影範囲（mm） | H（横） | 0.61 | 0.44 | 0.31 | 0.20 | 0.15 | 0.12 |
| V（縦） | 0.46 | 0.33 | 0.23 | 0.15 | 0.11 | 0.09 | |
| D（対角） | 0.76 | 0.54 | 0.38 | 0.25 | 0.19 | 0.15 | |
| 観察距離（mm） | 6.3 | ||||||
| 項目 | 仕様 | ||||||
| 倍率 | 2500 | 4000 | 5000 | 6000 | |||
| 撮影範囲（mm） | H（横） | 0.12 | 0.08 | 0.06 | 0.05 | ||
| V（縦） | 0.09 | 0.06 | 0.05 | 0.04 | |||
| D（対角） | 0.15 | 0.1 | 0.08 | 0.06 | |||
| 観察距離（mm） | 1 | ||||||
3. フリーアングル観察システム（VHX-S770E）
| XYΘステージ | XYステージ 電動／手動 | 電動 |
| XY自動ステージ移動速度 | 20 mm/sec (max) | |
| XY電動ステージ移動量 | ±50 mm | |
| Θ回転角 | - | |
| XYΘステージサイズ | 上面233 mm × 185 mm （中央円板ϕ168） |
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| 透過照明観察対応倍率 | 20倍以上 | |
| フォーカスZ軸 | Zステージ 電動／手動 | 電動 |
| Z自動ステージ移動速度 | 17 mm/sec (max) | |
| Z電動ステージ移動量 | 49 mm | サイドカメラ | あり・VGA |
4. 超深度マルチアングル観察システム（VHX-D510）
| 超深度レンズ | レンズ方式 | 電子式超深度レンズ |
| 倍率 | 傾斜観察時 30~約2000倍、垂直観察時30~約5000倍 | |
| 観察像 | 2次電子像 | |
| 観察モード | 基本モード／絶縁体モード | |
| 加速電圧 | 0.9 kV/1.2 kV/5 kV*1 | |
| 電子銃 | タングステンWヘアピン・プリセンタードカートリッジ式 | |
| 表示分解能 | 1600 (H) × 1200 (V) | |
| 自動調整機能 | オートフォーカス、オート明るさ調整、自動追従型明るさ調整 | |
| メンテナンス機能 | 消耗品交換時の自動補正機能付き | |
| マイクロスコープレンズ | レンズ方式 | 光学式ズームレンズ |
| 倍率 | 50~500倍 | |
| 観察像 | 光学画像 | |
| 試料ステージ | 方式 | 5軸ユーセントリック式 |
| 試料サイズ | 全面観察 ϕ100 mm 試料室200 mm × 200 mm 試料高さ30 mm | |
| X軸 | 約±15 mm | |
| Y軸 | 約±15 mm | |
| Z軸 | 30 mmストローク | |
| T軸（傾斜軸） | 最大傾斜90°レンズ傾斜ユーセントリック方式 | |
| Θ軸（回転軸） | 360°視野中心回転方式 | |
| 各種機能 | オートフォーカス機能（コンソール対応） | |
| ジョグフォーカス機能（コンソール対応） | ||
| 倍率調整機能（コンソール対応） | ||
| 明るさ調整機能（コンソール対応） | ||
| 高精細撮影 | ||
| 最適画像機能 4種類の画像モードを自動一覧表示し、最適な画像を選択 | ||
| スプリット機能 左右、上下、4分割 | ||
| 動画録画再生機能 3コマ／秒、6コマ／秒選択、最長1時間録画が可能 | ||
| サイドアルバム機能 | ||
| 自動カウント、面積計測機能 | ||
| 各種スケール表示 | ||
| 測定値フリー表示機能 | ||
| 指定寸法表示機能 | ||
| 計測補助機能（エッジ自動抽出、多点入力） | ||
| DOUBLE’R機能 | ||
| 視野ずれ補正 超深度画像の視野探し時 ノイズ軽減 | ||
| 光学画像と超深度画像を合成してカラー表示 | ||
