デジタルマイクロスコープVHX-5000
 |
この装置でできること・ 光学観察：深度合成機能、画像連結機能、ズームレンズ、フリーアングル観察、簡単録画、計測機能 ・ 簡易SEM観察：前処理不要、傾斜観察、大型資料室 装置の情報
デジタルマイクロスコープVHX-5000
構成：
|
仕様
1. デジタルマイクロスコープ （本体）（VHX-5000）
| カメラ | 撮像素子 | 1/1.8型 195万画素CMOSイメージセンサ |
| 総画素 1612(H) × 1212(V) | ||
| 実画素数 1600(H) × 1200(V) | ||
| 走査方式 | プログレッシブ | |
| フレームレート | 最大50 fps | |
| 解像度 | 1600 × 1200 pixcels | |
| ハイダイナミックレンジ | RGB各画素16bit階調 | |
| ゲイン | オート、マニュアル、プリセット | |
| 電子シャッター | オート、マニュアル、1/60, 1/120, 1/250, 1/500, 1/1000, 1/2000, 1/5000, 1/9000, 1/19000 | |
| スーパーチャージシャッター | 0.02~4 s | |
| ホワイトバランス | プッシュセット、オート、マニュアル、プリセット（2700K, 3200K, 5600K, 9000K） | |
| バックフォーカス調整 | 不要 | |
| 光源 | ランプ | 高輝度LED |
| ランプ寿命 | 40000時間（参考値） | |
| 色温度 | 5700K (typ.) | |
| コントローラ 各種機能 | オートフォーカス機能（コンソール対応） | |
| 画像連結（コンソール対応） | ||
| 3D画像連結（コンソール対応） | ||
| 高精細撮影 | ||
| Z軸自動ステージコントロール機能（コンソール対応） | ||
| 押すだけクイック3D機能（コンソール対応） | ||
| HDR機能（コンソール対応） | ||
| サイドアルバム機能 | ||
| 撮影条件再現機能 | ||
| ハイクオリティ深度合成 | ||
| AccurateD.F.D方式3D表示機能（クイック方式） | ||
| 3D照明シミュレーション機能 | ||
| 3D 2画面同時比較機能（連動・比較・差分表示モード） | ||
| リアルタイムデジタルズーム 1~10倍 | ||
| 照明切換え機能（凹凸強調） （全射、半射、側射、暗視野、明視野、ミックス照明） （コンソール対応） | ||
| eプレビューモード（9種類） 9種類の画像モードを自動一覧表示し、最適な画像の選択を行う機能）（コンソール対応） | ||
| ハレーション除去機能（コンソール対応） | ||
| 鮮鋭画像モード | ||
| 感度一発調整ダイヤル シャッタースピードとカメラゲインをひとつのトリマで調整可能（コンソール対応） | ||
| ユーセントリック設定機能 ユーセントリック位置観察をガイドします。 | ||
| ライブ深度合成機能 常にピントの合った深度の深い画像を提供します。 （コンソール対応） | ||
| 超解像HDR機能 超解像で高階調な画像を表示します。（コンソール対応） | ||
| 超解像観察機能 ピクセルシフトにより解像度の高い画像を表示します。 | ||
| 簡単モード 目的に合わせて機能を選択できます。（コンソール対応） | ||
| 計測機能 | TRIPLE’R機能 レンズ接続・レンズ種類・倍率を自動で認識する機能 | |
| 高解像度寸法計測機能 距離、角度、半径、面積など | ||
| 自動カウント、面積計測機能 輝度抽出・カラー抽出により測長や面積計測が可能 | ||
| 各種スケール表示（コンソール対応） | ||
| 自動エッジ検出 | ||
| オートキャリブレーション フルオート（数値の入力が不要） | ||
| ワンプッシュキャリブレーション機能（コンソール対応） | ||
| 手動XY計測 システム | XYステージ計測 | |
| 広域画像表示機能 | ||
2. スイングヘッドズームレンズ（VH-ZST）
| 項目 | 仕様 | ||||||
| 倍率*1 | 20 | 100 | 200 | 500 | 1000 | 2000 | |
| 撮像範囲（mm） | H（横） | 15.24 | 3.05 | 1.52 | 0.61 | 0.3 | 0.15 |
| V（縦） | 11.4 | 2.28 | 1.14 | 0.46 | 0.23 | 0.11 | |
| D（対角） | 19.05 | 3.81 | 1.91 | 0.76 | 0.38 | 0.19 | |
| 観察距離（mm） | 15 | ||||||
| 照明方式 | 同軸落射照明*2／リング照明／ 同軸・リングミックス照明／簡易透過照明*3 | ||||||
3. フリーアングル観察システム（VHX-S550）
| XYΘステージ | XYステージ 電動／手動 | 電動 |
| XY電動ステージモーター | 2相ステッピングモーター | |
| XY電動ステージ分解能 | 1 μm (typ) | |
| XY電動ステージ移動速度 | 10 mm/sec (max) | |
| XY電動ステージ移動量 | ±20 mm | |
| Θ回転角 | ±90° | |
| XYΘステージサイズ | 上面171 mm × 168 mm（中央円板ϕ100） | |
| 透過照明観察対応倍率 | 20倍以上 | |
| Zステージ | Zステージ 電動／手動 | 電動 |
| Z電動ステージモーター | 5相ステッピングモーター | |
| Z電動ステージ分解能 | 0.1 μm (typ) | |
| Z電動ステージ移動速度 | 17 mm/sec (max) | |
| Z電動ステージ移動量 | 49 mm | |
| 積載荷重 | 1 kg | |
4. 超深度マルチアングル観察システム（VHX-D510）
| 超深度レンズ | レンズ方式 | 電子式超深度レンズ |
| 倍率 | 傾斜観察時 30~約2000倍、垂直観察時30~約5000倍 | |
| 観察像 | 2次電子像 | |
| 観察モード | 基本モード／絶縁体モード | |
| 加速電圧 | 0.9 kV/1.2 kV/5 kV*1 | |
| 電子銃 | タングステンWヘアピン・プリセンタードカートリッジ式 | |
| 表示分解能 | 1600 (H) × 1200 (V) | |
| 自動調整機能 | オートフォーカス、オート明るさ調整、自動追従型明るさ調整 | |
| メンテナンス機能 | 消耗品交換時の自動補正機能付き | |
| マイクロスコープレンズ | レンズ方式 | 光学式ズームレンズ |
| 倍率 | 50~500倍 | |
| 観察像 | 光学画像 | |
| 試料ステージ | 方式 | 5軸ユーセントリック式 |
| 試料サイズ | 全面観察 ϕ100 mm 試料室200 mm × 200 mm 試料高さ30 mm | |
| X軸 | 約±15 mm | |
| Y軸 | 約±15 mm | |
| Z軸 | 30 mmストローク | |
| T軸（傾斜軸） | 最大傾斜90°レンズ傾斜ユーセントリック方式 | |
| Θ軸（回転軸） | 360°視野中心回転方式 | |
| 各種機能 | オートフォーカス機能（コンソール対応） | |
| ジョグフォーカス機能（コンソール対応） | ||
| 倍率調整機能（コンソール対応） | ||
| 明るさ調整機能（コンソール対応） | ||
| 高精細撮影 | ||
| 最適画像機能 4種類の画像モードを自動一覧表示し、最適な画像を選択 | ||
| スプリット機能 左右、上下、4分割 | ||
| 動画録画再生機能 3コマ／秒、6コマ／秒選択、最長1時間録画が可能 | ||
| サイドアルバム機能 | ||
| 自動カウント、面積計測機能 | ||
| 各種スケール表示 | ||
| 測定値フリー表示機能 | ||
| 指定寸法表示機能 | ||
| 計測補助機能（エッジ自動抽出、多点入力） | ||
| DOUBLE’R機能 | ||
| 視野ずれ補正 超深度画像の視野探し時 ノイズ軽減 | ||
| 光学画像と超深度画像を合成してカラー表示 | ||
