蛍光X線分析装置(XRF)
エネルギー分散型蛍光X線分析装置（EA1400）
装置概要
エネルギー分散型の蛍光X線分析装置です。
新型高性能半導体検出器（シリコンドリフト検出器）が採用され、従来機種よりも分解能がさらに高まったことにより、蛍光X線エネルギーが高めのPd, Cd, Sn, Ba, Sb などの検出性能が向上しています。
また、照射X線と試料カメラが捉える光軸が同軸になる構造のため、正確に測定部位へX線を照射することができます。
大気での測定が可能なため、生体試料の測定も可能です。
仕様
| 型式 | EA1400（日立ハイテクサイエンス） |
| 測定元素 | Al～U（大気） Na～U（真空） |
| X線照射方式 | 下面垂直照射型 |
| X線源 | 小型空冷式X線管球（Rhターゲット） |
| 検出器 | 新型SDD |
| 分析領域 | 1, 3, 5 mmφ |
| 一次X線フィルター | 5モード自動切換 |
| 試料室寸法 | 304(W)x304(D)x110(H)mm |
| 装置寸法 | 520(W)x300(D)x445(H)mm |
全反射蛍光X線分析装置(NANOHUNTER)
装置概要
封入X線管を使用した卓上型の全反射蛍光X線分析装置です。
全反射蛍光X線分析法の採用により、固体試料表面（数nm）の元素分析を高感度で行うことができます。
卓上型でありながら、全自動光軸調整システムを搭載し、基板によらず安定した分析を行うことができます。
Cdの検出下限は2ppb。液中のAsやSeの場合、0.8ppb以下の検出限界を実現しています。
また、入射X線角度を変更できるので、表面近傍のみならず、深さ方向の元素情報を得ることが可能です。
仕様
| 項目 | 備考 | 仕様 |
|---|---|---|
| X線管 | 最大定格 | 50W 空冷式X線管×2本(X線管1本仕様はオプション) |
| ターゲット | Mo/Cu (X線管1本仕様の場合はいずれか選択) | |
| 照射方式 | 2波長切り替え方式(マルチビームシステム) | |
| X線発生装置 | 管電圧，管電流 | 50kVmax,1.0mAmax×2台(標準) |
| 励起X線 | 分光素子 | 人工累積膜 |
| 照射角 | 0～2°可変 | |
| 検出器 | 重元素用 | 電子冷却式半導体検出器(SDD) |
| 試料室 | 測定雰囲気 | 大気，N₂,He(ガスパージはオプション) |
| 試料交換機 | 16試料ターレット | |
| 標準試料寸法 | 26×76mm（標準寸法以外も特注対応可） | |
| 試料厚さ | 0.5～5.0mm | |
| 測定径 | 約φ10mm | |
| データ処理部 | ハードウェア | パーソナルコンピュータ,17型LCDモニタ A4カラーインクジェットプリンタ |
| OS | Windows |
アプリケーション資料は、以下のリンクを参照ください
