全反射蛍光X線分析装置(XRF)
装置概要
蛍光X線分析装置の機器利用供与を開始しました。
封入X線管を使用した卓上型の全反射蛍光X線分析装置です。
全反射蛍光X線分析法の採用により、固体試料表面（数nm）の元素分析を高感度で行うことができます。
卓上型でありながら、全自動光軸調整システムを搭載し、基板によらず安定した分析を行うことができます。
Cdの検出下限は2ppb。液中のAsやSeの場合、0.8ppb以下の検出限界を実現しています。
また、入射X線角度を変更できるので、表面近傍のみならず、深さ方向の元素情報を得ることが可能です。
この機会にぜひ，ご利用のほどお願いいたします。
仕様
1.NANOHUNTER ハードウェア構成 仕様一覧表
| 項目 | 備考 | 仕様 |
|---|---|---|
| X線管 | 最大定格 | 50W 空冷式X線管×2本(X線管1本仕様はオプション) |
| ターゲット | Mo/Cu (X線管1本仕様の場合はいずれか選択) | |
| 照射方式 | 2波長切り替え方式(マルチビームシステム) | |
| X線発生装置 | 管電圧，管電流 | 50kVmax,1.0mAmax×2台(標準) |
| 励起X線 | 分光素子 | 人工累積膜 |
| 照射角 | 0～2°可変 | |
| 検出器 | 重元素用 | 電子冷却式半導体検出器(SDD) |
| 試料室 | 測定雰囲気 | 大気，N₂,He(ガスパージはオプション) |
| 試料交換機 | 16試料ターレット | |
| 標準試料寸法 | 26×76mm（標準寸法以外も特注対応可） | |
| 試料厚さ | 0.5～5.0mm | |
| 測定径 | 約φ10mm | |
| データ処理部 | ハードウェア | パーソナルコンピュータ,17型LCDモニタ A4カラーインクジェットプリンタ |
| OS | Windows |
2.NANOHUNTER 設置仕様 一覧表
| 項目 | 備考 | 仕様 |
|---|---|---|
| 所要電源 | 本体 | 単相AC100-240V 500W(50/60Hz) |
| パソコン | 単相AC100-240V 500W(50/60Hz) | |
| 接地 | D種接地且つ,30Ω以下 | |
| パージガス | オプション | N₂またはHe 供給圧力0.15MPa 0.5L/min |
| 設置環境 | 室温:15から28℃ 湿度:60％以下 振動:人体に感じない程度 その他:腐食性ガス，ホコリ,粉塵の無いこと |
|
| 外形寸法/質量 | 本体部 | 690(W)×760(D)×660(H)mm 約70Kg |
アプリケーション資料、操作マニュアルは以下のリンクを参照ください
