1967（昭和42)年3月～1975（昭和50）年3月

1975（昭和50）年3月～1987（昭和62）年3月

1970年には1トンの液体窒素タンクが設置され、水素を使わない最新のヘリウム液化システムに更新された。これによって、水素を135kg/cm²まで加圧しなければなかなかった最初のヘリウム・水素液化機に比べて、15kg/cm²程度の圧力のヘリウムを使うだけで済み、液化機運転の作業がより安全に行われるようになった。
学内での液体窒素・液体ヘリウムの需要が増加してきたことから、1976年7月に学内措置として低温センターが発足した。

1987（昭和62）年3月～2004（平成12）年3月

HL-30型はレシプロ式ヘリウム液化機で、昭和62年（1987年）3月に設置された。設置後、約18年間にわたって運転を続けてきた。
1997年1月17日の兵庫県南部地震（阪神・淡路大震災）では、幸いにも建屋の倒壊や液化システムの決定的な損壊は起こらなかったが、老朽化を主因と して、たびたび重故障が起こっていた。その都度、長期に及ぶ液体ヘリウムの供給停止を余儀なくされていたため、ヘリウム液化機の更新は旧低温センターに とって最大の懸案事項であった。
2004年4月国立大学法人化に伴い、低温センターから研究基盤センター極低温部門に変更。

2004（平成12）年3月～

フランスのエア・リキード社製。
摺動部をもたないガスベアリング式膨張タービン（静圧式ガスベアリングタービン）。メンテナンスフリー。
自動起動・停止機能。停電、冷却水断水からの復旧後に自動的に再起動する。
液化運転は全自動制御で無人運転が可能。
（HELIALシリーズ製品紹介パンフレットより一部引用）エアリキード社製のタービン式ヘリウム液化機を導入するのは国内の大学では本学が初めてである。